タイトル・発表先
研究成果番号
1827
登録日時
2007.01.30 10:55
DOI
10.1380/jsssj.21.444
オープンアクセスジャーナルURL
https://www.jstage.jst.go.jp/article/jsssj/21/7/21_7_444/_article/-char/ja/
英語タイトル
Influence of Translational Energy for Surface Reaction of Silicon with Oxygen Molecules
日本語タイトル
シリコンと酸素の表面反応における運動エネルギーの影響
発表形式
原著論文／博士論文／査読付プロシーディングス
発表先（出版）
誌名
表面科学 (Journal of the Surface Science Society of Japan)
巻
21
号
7
発行年
2000
頁
444-447
発表先（口頭／ポスター発表）
講演会名
第19回 表面科学講演大会
開催日
1999.12.02-12.03
開催都市
Tokyo, Japan
研究分野
研究手法
著者情報
ユーザーカード番号
姓
名
所属
コレスポンディング
オーサー
主著者
0000390
Teraoka
Yuden
JAERI
共著者 1
0001305
Yoshigoe
Akitaka
JAERI
共著者 2
0001705
Sano
Mutsumi
JAERI
関連課題情報
課題番号
None
ビームライン
BL23SU
利用施設
SPring-8
サイト内分類項目
Experiment