タイトル・発表先
研究成果番号
1820
登録日時
2007.01.30 10:55
DOI
10.1063/1.1398074
オープンアクセスジャーナルURL
英語タイトル
Microscopic Observation of Cu Damascene Interconnect Grains Using X-Ray Microbeam
日本語タイトル
発表形式
原著論文／博士論文／査読付プロシーディングス
発表先（出版）
誌名
Journal of Applied Physics
巻
90
号
6
発行年
2001
頁
2792-2795
発表先（口頭／ポスター発表）
講演会名
開催日
開催都市
研究分野
研究手法
著者情報
ユーザーカード番号
姓
名
所属
コレスポンディング
オーサー
主著者
0004127
Hasegawa
Masaki
Hitachi, Ltd.
共著者 1
0004083
Hirai
Yasuharu
Hitachi, Ltd.
関連課題情報
課題番号
C00A0300
ビームライン
BL16XU
実験責任者
平井 康晴