タイトル・発表先
研究成果番号
15190
登録日時
2009.12.02 10:43
DOI
10.1007/s00542-008-0584-5
オープンアクセスジャーナルURL
英語タイトル
Fabrication of Large Area Diffraction Grating using LIGA Process
日本語タイトル
発表形式
原著論文／博士論文／査読付プロシーディングス
発表先（出版）
誌名
Microsystem Technologies
巻
14
号
9-11
発行年
2008
頁
1311-1315
発表先（口頭／ポスター発表）
講演会名
開催日
開催都市
研究分野
研究手法
著者情報
ユーザーカード番号
姓
名
所属
コレスポンディング
オーサー
主著者
Noda
Daiji
University of Hyogo
共著者 1
0014834
Tanaka
Makoto
University of Hyogo
共著者 2
0016339
Shimada
Kazuma
University of Hyogo
共著者 3
0003297
Yashiro
Wataru
The University of Tokyo
共著者 4
0004353
Momose
Atsushi
The University of Tokyo
共著者 5
0005725
Hattori
Tadashi
University of Hyogo
関連課題情報
課題番号
2006A1236
ビームライン
BL20XU
実験責任者
百生 敦