タイトル・発表先
研究成果番号
14934
登録日時
2009.11.27 00:26
DOI
10.1016/j.physb.2009.08.155
オープンアクセスジャーナルURL
英語タイトル
Control of Impurity Diffusion in Silicon by IR Laser Excitation
日本語タイトル
発表形式
原著論文／博士論文／査読付プロシーディングス
発表先（出版）
誌名
Physica B
巻
404
号
23-24
発行年
2009
頁
4685-4688
発表先（口頭／ポスター発表）
講演会名
開催日
開催都市
研究分野
[A10] 生命科学
研究手法
[M10] X線回折
著者情報
ユーザーカード番号
姓
名
所属
コレスポンディング
オーサー
主著者
0020410
Shirai
Koun
Osaka University
共著者 1
0022937
Matsukawa
Kazuhito
Renesas Technology Corporation
共著者 2
0001733
Moriwaki
Taro
SPring-8/JASRI
共著者 3
0002134
Ikemoto
Yuka
SPring-8/JASRI
関連課題情報
課題番号
2007A1960
ビームライン
BL43IR
実験責任者
白井 光雲