タイトル・発表先
研究成果番号
14535
登録日時
2009.08.18 15:18
DOI
10.1149/1.3070626
オープンアクセスジャーナルURL
英語タイトル
Evaluation and Control of Strain in Si Induced by Patterned SiN Stressor
日本語タイトル
発表形式
原著論文／博士論文／査読付プロシーディングス
発表先（出版）
誌名
Electrochemical and Solid-State Letters
巻
12
号
4
発行年
2009
頁
H117-H119
発表先（口頭／ポスター発表）
講演会名
開催日
開催都市
研究分野
[A10] 生命科学
研究手法
著者情報
ユーザーカード番号
姓
名
所属
コレスポンディング
オーサー
主著者
0015928
Ogura
Atsushi
Meiji University
共著者 1
0019324
Saitoh
Hiroyuki
Meiji University
共著者 2
0015901
Kosemura
Daisuke
Meiji University
共著者 3
0018229
Kakemura
Yasuto
Meiji University
共著者 4
0019092
Yoshida
Tetsuya
Meiji University
共著者 5
0020331
Takei
Munehisa
Meiji University
共著者 6
0005256
Koganezawa
Tomoyuki
SPring-8/JASRI
共著者 7
0002088
Hirosawa
Ichiro
SPring-8/JASRI
共著者 8
Kohno
M.
Tokyo Electron AT
共著者 9
0024071
Nishita
Tatsuo
Tokyo Electron AT
共著者 10
Nakanishi
T.
Tokyo Electron AT
関連課題情報
課題番号
2007A1216
ビームライン
BL46XU
実験責任者
小椋 厚志