タイトル・発表先
14535
2009.08.18 15:18
10.1149/1.3070626
Evaluation and Control of Strain in Si Induced by Patterned SiN Stressor
原著論文/博士論文/査読付プロシーディングス
Electrochemical and Solid-State Letters
12 4 2009 H117-H119
[A10] 生命科学
著者情報
 
主著者 0015928 Ogura Atsushi Meiji University
共著者 1 0019324 Saitoh Hiroyuki Meiji University
共著者 2 0015901 Kosemura Daisuke Meiji University
共著者 3 0018229 Kakemura Yasuto Meiji University
共著者 4 0019092 Yoshida Tetsuya Meiji University
共著者 5 0020331 Takei Munehisa Meiji University
共著者 6 0005256 Koganezawa Tomoyuki SPring-8/JASRI
共著者 7 0002088 Hirosawa Ichiro SPring-8/JASRI
共著者 8 Kohno M. Tokyo Electron AT
共著者 9 0024071 Nishita Tatsuo Tokyo Electron AT
共著者 10 Nakanishi T. Tokyo Electron AT
関連課題情報
2007A1216 BL46XU 小椋 厚志