タイトル・発表先
研究成果番号
145
登録日時
2007.01.30 10:55
DOI
オープンアクセスジャーナルURL
英語タイトル
Analysis of Ordered Structure of Buried Oxide Layers in Simox Wafers
日本語タイトル
発表形式
原著論文／博士論文／査読付プロシーディングス
発表先（出版）
誌名
Proceedings of the Ninth International Symposium on Silicon-on-Insulator Technology and Devices
巻
99-3
号
発行年
1999
頁
155-160
発表先（口頭／ポスター発表）
講演会名
Ninth International Symposium on Silicon-on-Insulator Technology and Devices
開催日
1999.05.02-05.07
開催都市
Seattle, USA
研究分野
研究手法
著者情報
ユーザーカード番号
姓
名
所属
コレスポンディング
オーサー
主著者
0001281
Shimura
Takayoshi
Osaka University
共著者 1
0004419
Hosoi
Takuji
Osaka University
共著者 2
0005066
Umeno
Masataka
Osaka University
関連課題情報
課題番号
1999A0024
ビームライン
BL09XU
実験責任者
志村 考功