タイトル・発表先
研究成果番号
13745
登録日時
2009.02.26 11:41
DOI
10.1007/s10854-008-9641-1
オープンアクセスジャーナルURL
英語タイトル
Characterization of Strained Si Wafers by X-ray Diffraction Techniques
日本語タイトル
発表形式
原著論文/博士論文/査読付プロシーディングス
発表先(出版)
誌名
Journal of Materials Science: Materials in Electronics
巻
19
号
Supplement 1
発行年
2008
頁
S189-S193
発表先(口頭/ポスター発表)
講演会名
International Conference on Defects-Recognition, Imaging and Physics in Semiconductors
開催日
2007.09.09-09.13
開催都市
Berlin, Germany
研究分野
研究手法
著者情報
ユーザーカード番号
姓
名
所属
コレスポンディング
オーサー
主著者
0001281
Shimura
Takayoshi
Osaka University
共著者 1
0016745
Kawamura
Kouta
Osaka University
共著者 2
0018764
Asakawa
Masahiro
Osaka University
共著者 3
0020707
Watanabe
Heiji
Osaka University
共著者 4
Yasutake
Kiyoshi
Osaka University
共著者 5
0015928
Ogura
Atsushi
Meiji University
共著者 6
0006085
Fukuda
Kazunori
SPring-8/JASRI
共著者 7
0003369
Sakata
Osami
SPring-8/JASRI
共著者 8
0004124
Kimura
Shigeru
SPring-8/JASRI
共著者 9
0020260
Edo
Hiroki
Toyama University
共著者 10
0001768
Iida
Satoshi
Toyama University
共著者 11
0005066
Umeno
Masataka
Fukui University of Technology
関連課題情報
課題番号
2006B1759
ビームライン
BL13XU
実験責任者
福田 一徳
課題番号
2007A2029
ビームライン
BL13XU
実験責任者
志村 考功
課題番号
2007A1736
ビームライン
BL20B2
実験責任者
志村 考功
課題番号
2007B1557
ビームライン
BL20B2
実験責任者
志村 考功