タイトル・発表先
研究成果番号
13743
登録日時
2009.02.25 18:08
DOI
10.1016/j.vacuum.2008.04.068
オープンアクセスジャーナルURL
英語タイトル
Effect of Heating on the Residual Stresses in TiN Films Investigated using Synchrotron Radiation
日本語タイトル
発表形式
原著論文／博士論文／査読付プロシーディングス
発表先（出版）
誌名
Vacuum
巻
83
号
3
発行年
2008
頁
585-588
発表先（口頭／ポスター発表）
講演会名
開催日
開催都市
研究分野
研究手法
著者情報
ユーザーカード番号
姓
名
所属
コレスポンディング
オーサー
主著者
0008092
Matsue
Tatsuya
Niihama National College of Technology
共著者 1
0008084
Hanabusa
Takao
Tokushima University
共著者 2
0008085
Kusaka
Kazuya
Tokushima University
共著者 3
0003369
Sakata
Osami
SPring-8/JASRI
関連課題情報
課題番号
2006A1537
ビームライン
BL13XU
実験責任者
英 崇夫