タイトル・発表先
13383
2008.12.10 13:55
10.1063/1.3023066
Low Power Density Multihole Cathode Very-High-Frequency Plasma for Mixed Phase Si:H Thin Films
原著論文／博士論文／査読付プロシーディングス
Applied Physics Letters
93 19 2008 191502
著者情報
 
主著者 Jariwala Chetan Institute for Plasma Research
共著者 1 0001854 Chainani Ashish Institute for Plasma Research, SPring-8/RIKEN
共著者 2 0004940 Eguchi Ritsuko SPring-8/RIKEN, The University of Tokyo
共著者 3 0001770 Matsunami Masaharu SPring-8/RIKEN, The University of Tokyo
共著者 4 0001732 Shin Shik SPring-8/RIKEN, The University of Tokyo
共著者 5 Bhatt Sudhir Institute for Plasma Research
共著者 6 Dalal Vikram Iowa State University
共著者 7 John Pucadyil Ittoop Institute for Plasma Research
関連課題情報
None BL17SU SPring-8 Experiment