タイトル・発表先
研究成果番号
13321
登録日時
2008.12.05 17:25
DOI
10.1016/j.vacuum.2008.04.041
オープンアクセスジャーナルURL
英語タイトル
Measurement of Electromigration-Induced Stress in Aluminum Alloy Interconnection
日本語タイトル
発表形式
原著論文/博士論文/査読付プロシーディングス
発表先(出版)
誌名
Vacuum
巻
83
号
3
発行年
2008
頁
637-640
発表先(口頭/ポスター発表)
講演会名
開催日
開催都市
研究分野
研究手法
著者情報
ユーザーカード番号
姓
名
所属
コレスポンディング
オーサー
主著者
0008085
Kusaka
Kazuya
University of Tokushima
共著者 1
0008084
Hanabusa
Takao
University of Tokushima
共著者 2
0009662
Shingubara
Shoso
Kansai University
共著者 3
0008092
Matsue
Tatsuya
Niihama National College of Technology
共著者 4
0003369
Sakata
Osami
SPring-8/JASRI
関連課題情報
課題番号
2003A0305
ビームライン
BL13XU
実験責任者
英 崇夫
課題番号
2003B0322
ビームライン
BL13XU
実験責任者
英 崇夫