タイトル・発表先
13321
2008.12.05 17:25
10.1016/j.vacuum.2008.04.041
Measurement of Electromigration-Induced Stress in Aluminum Alloy Interconnection
原著論文/博士論文/査読付プロシーディングス
Vacuum
83 3 2008 637-640
著者情報
 
主著者 0008085 Kusaka Kazuya University of Tokushima
共著者 1 0008084 Hanabusa Takao University of Tokushima
共著者 2 0009662 Shingubara Shoso Kansai University
共著者 3 0008092 Matsue Tatsuya Niihama National College of Technology
共著者 4 0003369 Sakata Osami SPring-8/JASRI
関連課題情報
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