タイトル・発表先
研究成果番号
13097
登録日時
2008.10.25 14:59
DOI
オープンアクセスジャーナルURL
英語タイトル
Similarity between Strain Fields Induced by the Xe/NH
3
Plasma Nitridation and the K/O
2
Plasma Oxidation Revealed by a Multi-Wave X-ray Diffraction Phenomenon
日本語タイトル
発表形式
原著論文／博士論文／査読付プロシーディングス
発表先（出版）
誌名
Transactions of the Materials Research Society of Japan
巻
33
号
3
発行年
2008
頁
607-610
発表先（口頭／ポスター発表）
講演会名
開催日
開催都市
研究分野
研究手法
著者情報
ユーザーカード番号
姓
名
所属
コレスポンディング
オーサー
主著者
0003297
Yashiro
Wataru
The University of Tokyo
共著者 1
0001245
Yoda
Yoshitaka
SPring-8/JASRI
共著者 2
0020773
Matsushita
Yuuitirou
The University of Tokyo
共著者 3
0020503
Aratani
Takashi
Tohoku University
共著者 4
0015560
Teramoto
Akinobu
Tohoku University
共著者 5
0007880
Hattori
Takeo
Tohoku University
共著者 6
0004138
Miki
Kazushi
National Institute for Materials Science
関連課題情報
課題番号
2007A1695
ビームライン
BL09XU
実験責任者
矢代 航
課題番号
2007B1076
ビームライン
BL09XU
実験責任者
矢代 航