タイトル・発表先
13068
2008.10.20 14:38
10.14723/tmrsj.33.599
https://doi.org/10.14723/tmrsj.33.599
Depth Distribution of Ge Fraction in Very-Thin-SGOI Layers Using Total-External-Reflection X-ray Diffraction
原著論文/博士論文/査読付プロシーディングス
Transactions of the Materials Research Society of Japan
33 3 2008 599-602
著者情報
 
主著者 0003394 Kawamura Tomoaki NTT Corporation
共著者 1 0006299 Omi Hiroo NTT Corporation
共著者 2 0004124 Kimura Shigeru SPring-8/JASRI
共著者 3 0001171 Mizumaki Masaichiro SPring-8/JASRI
関連課題情報
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2005B0936 BL46XU 木村 滋