タイトル・発表先
研究成果番号
13068
登録日時
2008.10.20 14:38
DOI
10.14723/tmrsj.33.599
オープンアクセスジャーナルURL
https://doi.org/10.14723/tmrsj.33.599
英語タイトル
Depth Distribution of Ge Fraction in Very-Thin-SGOI Layers Using Total-External-Reflection X-ray Diffraction
日本語タイトル
発表形式
原著論文／博士論文／査読付プロシーディングス
発表先（出版）
誌名
Transactions of the Materials Research Society of Japan
巻
33
号
3
発行年
2008
頁
599-602
発表先（口頭／ポスター発表）
講演会名
開催日
開催都市
研究分野
研究手法
著者情報
ユーザーカード番号
姓
名
所属
コレスポンディング
オーサー
主著者
0003394
Kawamura
Tomoaki
NTT Corporation
共著者 1
0006299
Omi
Hiroo
NTT Corporation
共著者 2
0004124
Kimura
Shigeru
SPring-8/JASRI
共著者 3
0001171
Mizumaki
Masaichiro
SPring-8/JASRI
関連課題情報
課題番号
2004B0031
ビームライン
BL46XU
実験責任者
川村 朋晃
課題番号
R05A0032
ビームライン
BL46XU
実験責任者
木村 滋
課題番号
2005B0936
ビームライン
BL46XU
実験責任者
木村 滋