タイトル・発表先
13068
2008.10.20 14:38
Depth Distribution of Ge Fraction in Very-Thin-SGOI Layers Using Total-External-Reflection X-ray Diffraction
原著論文/博士論文/査読付プロシーディングス
Transactions of the Materials Research Society of Japan
33 3 2008 599-602
著者情報
 
主著者 0003394 Kawamura Tomoaki NTT Corporation
共著者 1 0006299 Omi Hiroo NTT Corporation
共著者 2 0004124 Kimura Shigeru SPring-8/JASRI
共著者 3 0001171 Mizumaki Masaichiro SPring-8/JASRI
関連課題情報
2004B0031 BL46XU 川村 朋晃
R05A0032 BL46XU 木村 滋
2005B0936 BL46XU 木村 滋