タイトル・発表先
研究成果番号
12733
登録日時
2008.07.08 12:27
DOI
10.1299/kikaia.74.363
オープンアクセスジャーナルURL
英語タイトル
In-situ Thermal Stress Measurement in Multi-layered Aluminum Nitride and Copper Films by Synchrotron Radiation
日本語タイトル
放射光を用いた窒化アルミニウム—銅積層膜の熱応力その場測定
発表形式
原著論文／博士論文／査読付プロシーディングス
発表先（出版）
誌名
日本機械学会論文集 A編 (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers, Series A)
巻
74
号
739
発行年
2008
頁
363-369
発表先（口頭／ポスター発表）
講演会名
開催日
開催都市
研究分野
研究手法
著者情報
ユーザーカード番号
姓
名
所属
コレスポンディング
オーサー
主著者
0008085
Kusaka
Kazuya
The University of Tokushima
共著者 1
0008084
Hanabusa
Takao
The University of Tokushima
共著者 2
0014768
Kaneko
Kenta
The University of Tokushima
共著者 3
0008092
Matsue
Tatsuya
Niihama National College of Technology
共著者 4
0003369
Sakata
Osami
SPring-8/JASRI
関連課題情報
課題番号
2006A1537
ビームライン
BL13XU
実験責任者
英 崇夫