タイトル・発表先
研究成果番号
12706
登録日時
2008.06.30 20:01
DOI
10.1143/APEX.1.065004
オープンアクセスジャーナルURL
英語タイトル
X-ray Reflectivity Study on Depth Profile of Acid Generator Distribution in Chemically Amplified Resists
日本語タイトル
発表形式
原著論文／博士論文／査読付プロシーディングス
発表先（出版）
誌名
Applied Physics Express
巻
1
号
6
発行年
2008
頁
065004
発表先（口頭／ポスター発表）
講演会名
開催日
開催都市
研究分野
[A10] 生命科学
研究手法
著者情報
ユーザーカード番号
姓
名
所属
コレスポンディング
オーサー
主著者
0018836
Fukuyama
Takehiro
Osaka University
共著者 1
0018834
Kozawa
Takahiro
Osaka University
共著者 2
0018841
Tagawa
Seiichi
Osaka University
共著者 3
0019014
Takasu
Ryoichi
Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.
共著者 4
0019012
Yukawa
Hiroto
Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.
共著者 5
0018845
Sato
Mitsuru
Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.
共著者 6
0021285
Onodera
Junichi
Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.
共著者 7
0002088
Hirosawa
Ichiro
SPring-8/JASRI
共著者 8
0005256
Koganezawa
Tomoyuki
SPring-8/JASRI
共著者 9
0000588
Horie
Kazuyuki
SPring-8/JASRI
関連課題情報
課題番号
2006B0164
ビームライン
BL46XU
実験責任者
佐藤 充