タイトル・発表先
12706
2008.06.30 20:01
10.1143/APEX.1.065004
X-ray Reflectivity Study on Depth Profile of Acid Generator Distribution in Chemically Amplified Resists
原著論文/博士論文/査読付プロシーディングス
Applied Physics Express
1 6 2008 065004
[A10] 生命科学
著者情報
 
主著者 0018836 Fukuyama Takehiro Osaka University
共著者 1 0018834 Kozawa Takahiro Osaka University
共著者 2 0018841 Tagawa Seiichi Osaka University
共著者 3 0019014 Takasu Ryoichi Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.
共著者 4 0019012 Yukawa Hiroto Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.
共著者 5 0018845 Sato Mitsuru Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.
共著者 6 0021285 Onodera Junichi Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.
共著者 7 0002088 Hirosawa Ichiro SPring-8/JASRI
共著者 8 0005256 Koganezawa Tomoyuki SPring-8/JASRI
共著者 9 0000588 Horie Kazuyuki SPring-8/JASRI
関連課題情報
2006B0164 BL46XU 佐藤 充