タイトル・発表先
10719
2007.03.03 14:40
10.1063/1.2436359
Dislocation Elimination in Czochralski Silicon Crystal Growth Revealed by White X-ray Topography Combined with Topo-tomographic Technique
原著論文/博士論文/査読付プロシーディングス
AIP Conference Proceedings
879 2007 1545-1549
International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation (SRI)
2006.05.28-06.02 Daegu, Korea
著者情報
 
主著者 0003776 Kawado Seiji Rigaku Corporation
共著者 1 0001768 Iida Satoshi Toyama University
共著者 2 0001794 Kajiwara Kentaro SPring-8/JASRI
共著者 3 0001776 Suzuki Yoshifumi Kyushu Institute of Technology
共著者 4 0001769 Chikaura Yoshinori Kyushu Institute of Technology
関連課題情報
2004B0532 BL28B2 川戸 清爾