タイトル・発表先
10655
2007.02.23 15:17
10.1541/ieejeiss.127.133
Mechanisms of Concurrent SiO Desorption with Oxide Layer Formation at Si(001) Surface
Si(001)表面における酸化膜形成とSiO脱離の共存機構
原著論文/博士論文/査読付プロシーディングス
電気学会論文誌C (IEEJ Transactions on Electronic, Information and Systems)
127 2 2007 133-139
著者情報
 
主著者 0000390 Teraoka Yuden JAEA
共著者 1 0001305 Yoshigoe Akitaka JAEA
共著者 2 0007459 Moritani Kousuke University of Hyogo
関連課題情報
None BL23SU SPring-8 Experiment