タイトル・発表先
10239
2007.01.30 10:57
10.1016/j.tsf.2006.05.012
Small Angle X-ray Scattering Measurements of Porous Low-k Films using Synchrotron Radiation
原著論文／博士論文／査読付プロシーディングス
Thin Solid Films
515 4 2006 2410-2414
著者情報
 
主著者 0009028 Suzuki Takashi Fujitsu Laboratories, Ltd.
共著者 1 0003923 Omote Kazuhiko Ragaku Corporation
共著者 2 0013823 Ito Yoshiyasu Rigaku Corporation
共著者 3 0002088 Hirosawa Ichiro SPring-8/JASRI
共著者 4 Nakata Yoshihiro Fujitsu Laboratories, Ltd.
共著者 5 Sugiura Iwao Fujitsu Laboratories, Ltd.
共著者 6 0013471 Shimizu Noriyoshi Fujitsu Laboratories, Ltd.
共著者 7 Nakamura Tomoji Fujitsu Laboratories, Ltd.
関連課題情報
2003B0390 BL19B2 鈴木 貴志
2004A0238 BL46XU 鈴木 貴志