タイトル・発表先
研究成果番号
10096
登録日時
2007.01.30 10:57
DOI
10.1016/j.mee.2005.10.039
オープンアクセスジャーナルURL
英語タイトル
Ultrahigh-quality Single Crystals of Silicon Carbide by Alternate Repetition of Growth Perpendicular to
c
-axis
日本語タイトル
発表形式
原著論文/博士論文/査読付プロシーディングス
発表先(出版)
誌名
Microelectronic Engineering
巻
83
号
1
発行年
2006
頁
139-141
発表先(口頭/ポスター発表)
講演会名
開催日
開催都市
研究分野
研究手法
著者情報
ユーザーカード番号
姓
名
所属
コレスポンディング
オーサー
主著者
0007676
Nakamura
Daisuke
Toyota Central Research and Development Laboratories, Inc.
関連課題情報
課題番号
2002B0335
ビームライン
BL20B2
実験責任者
広瀬 美治
課題番号
2003A0289
ビームライン
BL20B2
実験責任者
広瀬 美治
課題番号
2004A0091
ビームライン
BL20B2
実験責任者
広瀬 美治