タイトル・発表先
10096
2007.01.30 10:57
10.1016/j.mee.2005.10.039
Ultrahigh-quality Single Crystals of Silicon Carbide by Alternate Repetition of Growth Perpendicular to c-axis
原著論文/博士論文/査読付プロシーディングス
Microelectronic Engineering
83 1 2006 139-141
著者情報
 
主著者 0007676 Nakamura Daisuke Toyota Central Research and Development Laboratories, Inc.
関連課題情報
2002B0335 BL20B2 広瀬 美治
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