タイトル・発表先
研究成果番号
10046
登録日時
2007.01.30 10:57
DOI
10.1016/j.vacuum.2005.11.033
オープンアクセスジャーナルURL
英語タイトル
Alteration of Internal Stresses in SiO
2
/Cu/TiN Thin Films by X-ray and Synchrotron Radiation Due to Heat Treatment
日本語タイトル
発表形式
原著論文／博士論文／査読付プロシーディングス
発表先（出版）
誌名
Vacuum
巻
80
号
7
発行年
2006
頁
836-839
発表先（口頭／ポスター発表）
講演会名
開催日
開催都市
研究分野
研究手法
著者情報
ユーザーカード番号
姓
名
所属
コレスポンディング
オーサー
主著者
0008092
Matsue
Tatsuya
Niihama National College of Technology
共著者 1
0008084
Hanabusa
Takao
Tokushima University
共著者 2
Ikeuchi
Yasukazu
Niihama National College of Technology
共著者 3
0008085
Kusaka
Kazuya
Tokushima University
共著者 4
0003369
Sakata
Osami
SPring-8/JASRI
関連課題情報
課題番号
2004A0277
ビームライン
BL13XU
実験責任者
日下 一也